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                產品中心

                Products

                FRT
                產品概述: FRT Microprof系列設備是針對半導體行業的樣№片厚度及TTV/BOW/Warp翹曲檢測的設備方╱案。銷售聯系方式:奚丹丹 18918393337。
                產品簡介:

                FRT LOGO.JPG

                FRT1.JPG

                FRT2.JPG

                主要應用:

                適用於矽片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)樣片的整體厚度檢測及TTV/BOW/Warp翹曲等幾何參數檢測㊣,該設備可以兼容透明片和不透明片。


                主要功能:

                FRT Microprof系却又牵动了伤口列設備是針對半導體行業的樣片厚度及TTV/BOW/Warp翹曲檢測的設備远方方案。該設備利用白光的光源,上下雙探頭的設計,測試時樣片『放置在上下兩個探頭的中間位置,一次測試可以快速的提供樣片厚刘云炎凝视着度及幾何參數相關的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。

                同時該設備可以搭載紅外IR的探頭,該探頭可以穿←透Si/GaAs等材料,監控背面減●薄制程前後Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列設〒備以其精準的測量能力,非接他觸的測量方式,快速的測試速度,上下雙探頭◆符合SEMI標準的測試方式,使得我都快被人玩死了啊啊啊該設備在半導體,MEMS,在化合物外延Ψ 領域擁有很高的市場占有率。

                主要特點:

                ◆ 標準夾具適用於從▃2英寸到12英寸的樣品; 

                ◆ 可用於不透明及透明的材料的厚度∞及TTV/BOW/Warp翹曲檢測

                ◆ 該設備選配的IR紅外探頭可以穿透Si/GaAs等材料,檢測某一層Si/GaAs的厚度 

                ◆ 可用於:Si/GaAs等基片︽的來料檢測;外延EPI的監控;背面減∩薄制程的監控

                ◆ 設備配置涵蓋了手◣動Microprof200/300和自老挝出差中動傳輸模式Microprof200/300 MHU  

                ◆ 該設備具ω有mapping功能,可以多點測試後→提供樣片測試的mapping圖。 

                ◆ 該設備內部內建有樣片厚度的標準片,校準※設備方便,準確,快捷。

                應用行業:

                ◆ 化合物半導兄弟们體:GaAs,InP, SiC,GaN 

                ◆ 矽基器件前⌒段:功率器件,MEMS,射頻MEMS

                ◆ 矽基器件◤後段:8”和12”的封裝及bumping線

                ◆ 光通訊:石英材料什么‘临终嘱托’類

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