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                產品中心

                Products

                Muetec
                產品概述: Muetec設備是一@ 款廣泛適用於矽基半導體以及化合物半導體行業的多功◣能量測和檢測↘設備,Muetec設備→搭配多個波段的光源,從DUV到UV、可視光、紅外波段,用以實現不同量⊙測的需求。銷售聯系方式副会长:胡佳俊 18918393271。
                設備簡介:

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                1.JPG

                Muetec設備是一款廣◥泛適用於矽基半導體以及化合物半導體行業的多从餐宴室里走了出来功能量測和檢測設備,Muetec設備搭但是还没有绝望配多個波段的光源,從DUV到UV、可視光、紅外波段,用以實現不同量測的需求。自動@對焦功能模塊及機械手臂和片盒,可以實現對多尺寸樣片( 6”和8”)的全自動關∮鍵線條寬度和套刻檢測、缺陷檢測, 以及薄膜︼厚度量測,其〓高重復性和高穩定性的特性使其適用於大規模生產型客戶。

                主要應用:

                ◆Critical Dimension關鍵〒線寬量測;

                ◆套刻精度量測;

                ◆Pattern 缺陷檢測;

                ◆薄膜厚度量〓測;

                ◆快速Marco缺陷檢測。

                應用行業:

                ◆ 化合物半導體:GaAs,InP, SiC,GaN 

                ◆ 矽基器件安再炫前段:功率器件,MEMS,射頻MEMS

                ◆ 矽基器件後段:8”和12”的封裝及bumping線

                ◆ LED、光通訊、石英材料類

                ◆ 掩膜版的CD量測和缺陷檢測

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