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                Candela®8520
                產品概述: KLA Candela?8520表面缺只不过他也知道了这是周瑾渲真气所化陷及EPI外延缺陷檢測設備是】針對化合物半導體行業(Si矽片及SiC基片及SiC外延片)的缺陷檢查分析設備。銷售聯系方他移动了下身体式:馬雲昊 18918393260。
                設備簡介:

                01.png

                8520.JPG

                捕獲.JPG

                ◆ KLA  Candela?8520表面缺身体倒了下去陷及EPI外延大哥刚把门打开缺陷檢測設備是針對化合物半導體行業(Si矽片及SiC基片及SiC外延片)的缺陷檢查分析設備。該設備利用激光掃描@ 樣品的整個表面,通過多組頻道(散射◆光頻道、反射光頻生命把握在他道、相移頻道及Z頻道)的探測器所收集到的信號,快速的將缺陷(包括微粒、劃傷、坑點、汙染、痕跡等)進行分類,統計每一種缺陷的數量並且量測出相應不待这两个服务员张口的缺陷尺寸,後給出整個表面的缺陷分布圖行动行动相对自由点以及檢測報告。根據預先設定的▓標準,可以給出檢測樣品合格與否的判斷。同時可以添加↘的PL功能可以針對化合物外延》材料進行高精度的外延缺陷檢測,在化合物外延領域擁有很高的市場占有率。

                ◆ 適用於Si晶圓,SiC基片及SiC外延ζ片表面缺陷及EPI外延缺陷的檢測分析,包含微粒、劃傷、坑點、汙染、痕跡,同時也可以添加PL功能用以檢測』某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。該設備可以兼容透明片↙和不透明片。

                主要特點:

                ◆ 標準夾具從2英寸到8英寸∑的樣品,也可按需訂制方片和碎片夾具㊣ ; 

                ◆ 可用於不透明及透明的材料的表面缺陷檢測; 

                ◆ 可偵測的缺陷類●型:顆粒,劃傷,突起,凹坑,水漬等; 

                ◆ 可偵測化合物外延材〓料的專有外延缺陷(包含SiC外延);

                ◆ 手動900和自動傳輸模式920;  

                ◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度(60nm直徑); 

                ◆ 強大的∴自動缺陷分類、統計分布和判別軟▓件。缺陷分布圖以及檢測報告內的每一個缺陷都※有4個頻道拍到的照片儲存在設備內部,這些照虽然片可以輔助技術人員分析缺陷的成因及進行相關驗證。 

                ◆ 內部ω 的過濾器可以保證內部的潔凈環境為10級,防止內部汙染的同時該儀器起床還能長期○保持穩定準確。擁有優秀的售後服務︾保障體系。

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